HF Systemlösungen

Qualitativ hochwertige und Leistungsstarke Hochfrequenzlösungen

Ob Prozessstabilität oder einfache Integration – die Anforderungen an eine leistungsstarke HF Stromversorgung sind oft komplex. Unsere Kunden vertrauen auf unsere HF-Expertise, um ein Höchstmaß an Zuverlässigkeit und Wiederholgenauigkeit mit unseren kostengünstigen Lösungen zu erreichen.

UNSERE HF-KOMPETENZEN

In kritischen HF-Systemen ist ein Ausfall keine Option.

Deshalb setzt XP Power bei seinen HF-Lösungen auf höchste Zuverlässigkeit, mit Steuerungen und Kontrolle, die es Ihnen ermöglichen, die Leistung genau im Auge zu behalten.

Wir verfügen über einfach zu integrierende HF-Generatoren mit den neuesten Kommunikationsprotokollen und fortschrittlichen Puls-Funktionen. In Kombination mit unseren hochmodernen Impedanzanpassungsnetzwerken (Matchboxen) helfen wir unseren Kunden, ihre anspruchsvollsten Probleme zu lösen. 

VERBESSERTE PROZESSWIEDERHOLBARKEIT UND ULTIMATIVE LEBENSDAUER

Wir bieten eine breite Palette an Plasmastromversorgungen und Anpassungsnetzwerken, konfigurierbar speziell für Ihre  Anwendung. Von der Halbleiterfertigung bis hin zu Industrieanwendungen haben wir Produkte, die Ihre speziellen Prozessanforderungen erfüllen.

Die HF-Generatoren von XP Power verfügen über eine neue Technologie zur Stabilisierung und Eliminierung von HF-Schwingungen, die bei Veränderung der Prozessbedingungen entstehen. Dies resultiert für die Stromversorgung in einem wiederholbareren R2R-Verfahren. Durch die Eliminierung der Instabilität arbeiten die Komponenten außerdem sicherer und verbessern die Langlebigkeit Ihres HF-Stromversorgungssystems.

Große Auswahl an Ausgangsleistungen und Frequenzen

Vorstellung unseres umfassendes Portfolios an HF Sysstemlösungen.

CDX Serie

Die CDX-Serie ist der führende duale HF-Plasmagenerator. Dieses einzigartige Design ist der Höhepunkt von mehr als 40 Jahren XP Hochfrequenztechnik und integriert zwei verschiedene HF-Ausgänge in ein einziges, kompaktes Hochleistungspaket. Jeder Ausgang kann mit Puls, Frequenztuning oder CEX Funktionen konfiguriert werden. In Bezug auf Wartungsfreundlichkeit und Integration ist der CDX-Generator die kostengünstigste und flexibelste HF-Lösung, entwickelt um zukünftigen Anforderungen des Marktes gerecht zu werden.

Funktionen und Vorteile

  • Kann mit zwei beliebigen Festfrequenzen von 400kHz, 2MHz, 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz oder 60MHz konfiguriert werden
  • Bis zu 1500W pro Ausgang
  • Optionale Pulsen, Frequenztuning oder CEX-Funktionen
  • Zuverlässige und wiederholbare RF-Leistungsabgabe von jedem unabhängigen Ausgang
  • Flexible Plattform unterstützt eine breite Palette von Anwendungen
  • Niedrige Betriebskosten 

Für weitere Informationen über die CDX-Serie, einschließlich Datenblatt und aller technischen Spezifikationen, klicken Sie bitte unten.

CH Series

Designed to optimize footprint efficiency, the CH series RF generator combines our XP Power RF amplifier and switch mode DC technologies into a compact half rack package, with a high level of power delivery reliability and accuracy. The modular design makes the CH generator configurable for any customer platform.

Features and benefits

  • Widest selectable fixed frequencies: 400kHz to 60MHz
  • Power ranges from 50W to 1500W
  • Frequency agile tuning and advanced pulsing
  • DeviceNet, RS232 and EtherCAT
  • Flexible design for easy process tool integration
  • Cost-effective solution with TurboTune technology

For more information about the CH Series including the full datasheet and all technical specifications, click below.

CB Series

When process reliability is a must, the CB RF generator features our semiconductor production proven solid-state design to provide precise and repeatable power control, delivering ultra-stable and reliable RF power for your most mission-critical processes. 

Features and benefits

  • Diverse selection of fixed frequencies: 13.56 to 60MHz
  • Power ranges from 50 to 5000W
  • S-Technology provides ultra-stable output
  • Enhanced plasma stability for optimal process environment
  • Improved RF control for power repeatability
  • Robust design for high process tool uptime

For more information about the CB Series including the full datasheet and all technical specifications, click below.

CLB Series

The CLB series incorporates all the innovations of our CB platform into a smaller, lighter package that is easy to integrate. The CLB generators are specially designed to serve low- and mid-frequency applications, providing enhanced accuracy and repeatable power delivery.

Features and benefits

  • Standard power version: 600, 1250, 3000W or configurable power option from 200W to 10kW
  • Wide low- to mid-fixed frequencies—20kHz to 2MHz
  • Enhanced delivered power accuracy
  • Highly flexibility platform supports wide range of low- to mid-frequency applications
  • Ultra-stable regulated RF output for process control
  • Low cost of ownership

For more information about the CLB Series including the full datasheet and all technical specifications, click below.

RF Matching Networks

The XP Power impedance matching networks are engineered with our unique high-speed tuning algorithm that enables precise match tuning even in high "Q" loads. The control circuitry adjusts input impedance to 50 Ohms quickly, accurately and dependably, in response to the changes in load characteristics during your process.

Features and benefits

  • Wide power ranges from 50W to 10kW
  • Wide impedance range to cover different applications
  • DC Bias and RF VP-P detector circuits
  • Customize to fit across all chamber types
  • Run-to-run and unit-to-unit repeatability during tuning ensures tighter process control
  • Improves tool productivity with fast tuning and plasma stabilization time

Use the button below to get in touch with us to discuss RF matching networks.

Industries and applications

Our comprehensive portfolio of RF power solutions represents the critical components needed in a variety of manufacturing applications by providing the highest level of reliability and precision RF control. Our products cover a wide range of power levels and frequencies for today’s complex processes. We can help you find the perfect RF solution for your application.

  • Semiconductor etch process
  • Semiconductor deposition process
  • LED processing
  • Solar photovoltaic
  • Advanced materials treatment and coating
  • Laser
  • Dielectric heating
  • Induction heating